微压测试方法的核心在于利用光学记录系统来监控控制过程中液体水平面的压力变化。该方法基于液体微压计，其测试方案包括腔室、微压传感器、阀门、电源和通信系统等组件。这些组件确保了测试过程中的控制。
在该设计中，一个较宽的容器承受较高的压力，而一个较窄的倾斜玻璃管则承受较低的压力。通过容器和管中液体的液位差来测量压力差。在现代太赫兹型微压计中，测量管的直径为3至4毫米，倾斜角度为5至25度，长度可达300毫米。使用的参考液体是酒精。
真空测试应用
测试产品的放置：将受控物品放置在腔室内，而参考物品放置在另一个腔室内。
初始压力平衡：打开阀门以从腔室中抽出空气，使两个腔室的压力相等，然后关闭阀门。
泄漏检测：如果测试产品泄漏，空气会渗入产品与腔室之间的空间，导致腔室压力增加，微压计管中的液体开始上升。
大气压测试方案
在另一种测试方案中，腔室内保持大气压：
连接超压源：使用阀门将产品连接到超压源。
压力建立和检测：打开阀门以在产品内建立压力，然后交替关闭阀门。如果产品泄漏，腔室内的压力将增加。该方案特别适用于真空测试，并有效检测产品中的微小泄漏。
微压计和差压传感器以其简单的设计、高灵敏度和使用光电转换器自动测量微小压力变化的能力为特点。通过调整光电转换器的位置，可以在10⁻⁴至10⁻⁶立方米范围内控制测试的灵敏度。常用的光电转换器包括光敏电阻和光电二极管。
